利用PC对清洁室及简易清洁室的温度、湿度、差压、
耗电量等制造环境。
实施统一管理的软件。
集中管理生产现场的环境信息。
实时分析测量数据。
安装场所和测量状况均可通过地图了解。
可仅将所需数据转换成Excel格式。分类：超高灵敏度。
接点间隔：H (0.20mm)。
驱动杆：针状柱塞型。
端子的种类：焊接端子Z-15EQ22-B
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。驱动杆：面板安装滚珠柱塞型。
小型、高精度封闭式开关。
带内置标准型开关的小型、高精度封闭式开关，
确保高可重复性和耐久性，操作次数最少10000000次。
安装间距与Z标准型开关相同。
与传统限位开关相比，所需操作力更小。
产品系列中包含带操作指示灯的型号，易于维护和检测。
通过EN、UL、CSA和CCC （中国标准）标准认证。光学系统：漫反射型。
检测距离：80正负15mm。
光束形状：线光束。
光束直径：900mm×60μm。
分辨率：2μm。
电缆长度：2m。分类：高灵敏度。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：弹簧细柱塞型。
端子的种类：焊接端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。电源电缆。
种类：单头接插件型（附带1个铁氧体磁芯(φ30 × 39mm)）。
电缆长度：15m。
同级最高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：触须须型（盘簧型）。
端子的种类：螺丝端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达155A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。