尺寸：96×96mm。
控制输出1：继电器输出。
控制输出2：继电器输出。
辅助输出：独立2点。
电源电压：AC100～240V。
端子形状：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入E52-CA1GT手册。
加热断线、SSR故障检测功能：1点。
通信：RS-485。
事件输入：2点。
远程SP输入：--E52-CA1GT
传送输出：--。
清晰易读的大屏白光PV显示。从选型到设定与操作均简单易用。
完整的I/O容量、功能和性能范围。适合更多应用。
E5AC的白光LCDPV显示屏高度约为25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信转换线（另售）连接至电脑上来建立控制器而不需要为电源安装电线E52-CA1GT手册。
轻松安装CX-Thermo（另售）。
50ms高速采样周期。
型号可配备最多4点辅助输出，6点事件输入，
1点传送输出和远程SP输入，适合一系列广泛的应用。
主体短小，厚度仅为60mm。
易于使用未编程通信连接到可编程逻辑控制器(PLC)E52-CA1GT手册。
使用部件通信将温控器互相连接。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）欧姆龙数字式控制器手册。增量型 外径φ40（中空轴）。
增量型。
外径：φ40。
分辨率（最大）：3600。
薄型（厚度26mm）。
电源电压：DC5～24V。
输出形式：线性驱动器输出。
尺寸：48×96mm。
控制输出1：继电器输出。
控制输出2：继电器输出。
辅助输出：独立2点。
电源电压：AC100～240V欧姆龙数字式控制器手册。
端子形状：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热断线、SSR故障检测功能：--。
通信：--。
事件输入：--。
远程SP输入：--。
传送输出：--。
清晰易读的大屏白光PV显示欧姆龙数字式控制器手册。从选型到设定与操作均简单易用。
完整的I/O容量、功能和性能范围。适合更多应用。
E5AC的白光LCDPV显示屏高度约为25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信转换线（另售）连接至电脑上来建立控制器而不需要为电源安装电线。
轻松安装CX-Thermo（另售）。E52-CA1GT通信手册。
50ms高速采样周期。
型号可配备最多4点辅助输出，6点事件输入，
1点传传送输出和远程SP输入，适合一系列广泛的应用E52-CA1GT手册。
主体短小，厚度仅为60mm。
易于使用未编程通信连接到可编程逻辑控制器(PLC)。
使用部件通信将温控器互相连接。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。