晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E52-CA20AS用户手册。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ONE52-CA20AS
导线长：2m。具有更大的传感距离的安全安装。
尺寸：M8，屏蔽。
检测距离：2mm。
连接方式：M8连接器（3针）。
机身材料：不锈钢。
螺纹长度（总长度）：27(39)。
输出形式：PNP。
动作模式：NO。端子部形状:导线直出型。
保护管直径D：φ3.2mm。
保护管长度L：35cm。
导线种类：一般用E52-CA20AS用户手册。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。种类：直流2线式(无自诊断输出功能)，屏蔽型。
形状：M12。
检测距离：3mm。
连接方式：M12 SmartClick 接插件中继型（0.3m）。
导线规格：PVC（耐油）。
极性：有。
动作模式NC。
会提示线圈断线等故障及检测不稳定状态的自诊断功能输出型品种齐全。
有助于实现预防性维护，防止生产线停转。
简化配线过程，降低资源使用，有效减小功 (直流2线式与直流3线式相比)
所有小口径型号均采用屏蔽结构E52-CA20AS用户手册。
即使将传感器安装在狭小区域或嵌入金属中，仍然具有较高的工作稳定性。
配有明亮醒目的指示灯，轻松查看安装环境。导线长度：1m。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。提高了视觉识别性附带了LED显示的压力传感器。
通过数字显示和各栏显示可一目了然地确认压力状态。
防止震震颤功能可防止因瞬间压力变化而产生的误输出E52-CA20AS手册。
自动示教功能对照现有物品来记住住OK品与NG品的压力E52-CA20AS手册。
28×28×29mm实现业界最小体积。
压力范围：正压，0～100kPa。
输出形式 (ON/OFF) ：集电极开路（独立2输出）。
线性输出：1～5V。
输出形式：PNP输出。